PCIe 5.0服務(wù)器主板當(dāng)前主力由Intel 的Eagle Stream 及AMD的Genoa 平臺為主,是當(dāng)前數(shù)據(jù)中心的主力服務(wù)器機(jī)種。
其工藝難度有:層次≥14L,高厚徑比,最小孔徑0.2mm,背鉆D+8mil設(shè)計(jì),對準(zhǔn)度要求較高。普通的電鍍設(shè)備不能滿足工藝和生產(chǎn)效率的要求,需要用到脈沖VCP電鍍。采用高速材料制作,往往需要采用等離子體進(jìn)行鉆孔鉆污的去除。另外對線寬/間距的控制要求較高,需要使用LDI曝光機(jī)及真空蝕刻線進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移,以確保能夠滿足對應(yīng)的高精度線寬/間距的控制,從而達(dá)成較為嚴(yán)格的阻抗控制要求。另外,插入損耗的監(jiān)控頻率最大16GHz,對信號插入損耗要求不斷提高,會更多的用到高速油墨和Low Profile棕化以達(dá)到更好的插損控制水平。